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電子束曝光系統
021-64283335
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電子束曝光系統:微觀世界的精密畫師
想知道什么是高精度原子力顯微鏡那不妨看看本篇
離子束沉積是一種常用的薄膜制備技術
ELS-F125是Elionix推出的世界上1st臺加速電壓達125KV的電子束曝光系統,其可加工線寬下限為5nm的精細圖形。(以下參數基于ELS-F125)
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